Systèmes de mesure HAUT

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Semi-conducteurs

La pression constante pour une amélioration du rapport prix-performance pousse l’industrie des semi-conducteurs à adopter des technologies capables d’optimiser le rendement. KEYENCE propose des systèmes de précision innovants pour contrôler les pièces et surveiller les équipements, assurant la production de composants haute qualité à prix avantageux. Retrouvez ci-dessous quelques-unes de nos solutions éprouvées.

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Le profilomètre laser 2D détecte la position de l’encoche du wafer sans aucun risque d’omission même lorsque le wafer est légèrement déformé.

Profilomètre laser 2D/3D

Série LJ-X8000

L’écartement des fils de sciage peut varier selon la température et la forme du rouleau principal. Une mesure régulière de l’écartement permet de déterminer facilement quand remplacer les rouleaux.

Micromètre numérique haute précision et ultra-haute vitesse

Série LS-9000

Réduisez la maintenance réactive en contrôlant l’épaisseur de la lame de découpe à intervalles réguliers. La vérification fréquente permet de détecter toute ébrèchement de la fine lame avant rupture. Installez deux capteurs confocaux face à face pour mesurer avec fiabilité l’épaisseur sur toute la circonférence de la lame sans risque d’endommagement.

Capteur de déplacement confocal

Série CL-3000

Surveillez la position de repos de l’effecteur terminal pour détecter toute variation minime avant qu’elle ne cause une collision entre le wafer et son support. L’emploi d’un capteur de déplacement longue portée permet de mesurer la position de l’effecteur terminal à travers un hublot.

Profilomètre laser 2D/3D

Série LJ-X8000

Mesurez le profil du bord d’un wafer. Il suffit à l’utilisateur de sélectionner l’un des outils de contrôle disponibles, tel que Différence de hauteur/Largeur ou Angle, pour lancer facilement la mesure. La capture d’image ultra-haute résolution basée sur 3200 points/profil garantit une mesure de profil d’une précision impossible à atteindre avec les méthodes classiques.

Profilomètre laser 2D/3D

Série LJ-X8000