Exemples de contre-mesures dans l’industrie des semi-conducteurs et cristaux liquides

L’installation d’un capteur à retour d’information à proximité de la cible permet une surveillance constante de la zone pour éliminer efficacement l’électricité statique dans les environnements de test des wafers.

Il est possible d’éliminer rapidement l’électricité statique sur une large zone. L’enregistrement des résultats de l’action antistatique au cours du décollement facilite l’identification de la cause du problème.

L’action antistatique haute vitesse évite toute décharge lors du dépôt des microplaquettes, contribuant à réduire la maintenance habituellement inévitable avec les dispositifs classiques.

Offrant un équilibre ionique haute performance de ±1 V, le dispositif peut être exploité en toute sécurité sur tout site de fabrication de semi-conducteurs. Les résultats antérieurs de l’action antistatique restent consultables à tout moment afin d’identifier les périodes sources de problème.

Les ioniseurs sans air, à économie d’énergie contribuent à réduire la consommation d’air d’une usine tout en garantissant une action antistatique performante.

L’installation d’ioniseurs dans une douche à air, sas visant à éliminer tout risque de pénétration de corps étrangers dans une salle blanche, améliore l’efficacité de l’élimination de la poussière.