Hauteur sur un enducteur par centrifugation

Afin de maintenir la précision d’enduction, il est essentiel d’ajuster parfaitement la distance entre la tête d’enduction et le wafer. Les têtes compactes de la Série CL s’installent aisément sur tout équipement, garantissant une mesure précise de la distance même sur des surfaces réfléchissantes, telles qu’un wafer de silicium.

Capteur de déplacement confocal

Série CL-3000

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