Gauchissement du wafer à travers un verre de quartz

Le gauchissement du wafer est mesuré dans une chambre à vide ou un environnement à haute température, à travers un verre de quartz. Les têtes de capteur compactes de la Série CL s’installent facilement dans les espaces étroits autour d’un hublot. La Série CL est également capable de mesurer toute cible quel que soit l’état de sa surface.