Hauteur de saillie et planéité de mandrins électrostatiques
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Secteur:
- Semi-conducteurs/LCD
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Produits:
- Instruments de Mesure

Le contrôleur calcule la planéité à partir des données de mesure de hauteur acquises par plusieurs têtes de capteur. Les têtes de capteur de la Série CL ne contiennent aucun composant électronique et ne génèrent donc pas de chaleur. Cette conception n’a aucune influence sur la température de l’équipement, pour une mesure stable.