Position suivant Z de machines de recuit
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Secteur:
- Semi-conducteurs/LCD
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Produits:
- Instruments de Mesure
La hauteur du wafer peut être mesurée lors du recuit laser. Les têtes de capteur compactes de la Série CL s’installent aisément dans les espaces restreints. Le principe de mesure coaxial garantit le maintien de la position du spot indépendamment de la distance du capteur à la cible, pour une mesure précise.
