Position de l’encoche

Habituellement, un capteur de déplacement à laser 1D est utilisé pour détecter la position de l’encoche. L’amincissement des wafers a cependant entraîné un problème récurrent : en cas de gauchissement important, le spot passe à côté de l’encoche. Grâce à son laser linéaire, la Série LJ-X assure la détection même en cas de désalignement dû au gauchissement du wafer.