Commande de l’axe Z d’un traceur laser

L’axe Z de l’équipement est ajusté en mesurant la hauteur du wafer avant traitement. La Série CL n’entre jamais en contact avec la cible lors de la mesure, évitant ainsi tout dommage ou altération. De plus, ses têtes de capteur compactes s’installent aisément dans le moindre espace laissé par l’équipement.

Capteur de déplacement confocal

Série CL-3000

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