Vibrations résiduelles d’une pince robotique

Lors du transfert de wafers, réticules ou composants similaires, il est essentiel d’attendre que cessent les vibrations résiduelles de la pince avant de passer à l’étape suivante. L’utilisation d’un capteur de déplacement à laser pour vérifier la parfaite immobilité de la pince peut contribuer à prévenir tout dysfonctionnement de l’équipement et tout défaut de traitement en aval.

Capteur de déplacement confocal

Série CL-3000

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