Position de pince robotique

Toute variation de la hauteur ou de la position d’une pince robotique induit un risque de collision avec les wafers. Un contrôle régulier est donc indispensable. Exploitant un principe de mesure coaxial, les têtes de capteur de la Série CL s’installent aisément dans le moindre espace pour contrôler la position de la pince sans interrompre la production.

Capteur de déplacement confocal

Série CL-3000

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