Mesure du profil du bord d’un wafer

Mesurez le profil du bord d’un wafer. Il suffit à l’utilisateur de sélectionner l’un des outils de contrôle disponibles, tels que Différence de hauteur/Largeur ou Angle, pour lancer facilement la mesure. La capture d’image ultra-haute résolution basée sur 3200 points/ profil garantit une mesure de profil d’une précision impossible à atteindre avec les méthodes classiques.