Détection de la position de l’encoche

Habituellement, un capteur de déplacement à laser 1D est utilisé pour détecter la position de l’encoche. L’amincissement des wafers a cependant entraîné un problème récurrent : en cas de déformation importante, le spot passe à côté de l’encoche. Grâce à son laser linéaire, la Série LJ-V assure la détection même en cas de désalignement dû à la déformation du wafer.