Contrairement aux microscopes optiques classiques, ce système est principalement utilisé pour l’analyse et la caractérisation de surfaces en 3D. Il intègre deux sources lumineuses : un éclairage blanc pour capturer les couleurs et une source laser pour balayer la surface de l’objet et recueillir des données de hauteur détaillées. Au cours de l’observation, le laser balaie la surface suivant X, Y et Z afin de collecter des données sur l’ensemble de la zone spécifiée. Une image couleur à grande profondeur de champ et d’une résolution de l’ordre du nanomètre est ainsi obtenue, garantissant une mesure précise de la rugosité et du profil. Associant aux fonctions du microscope optique celles d’un microscope électronique à balayage et d’une jauge de rugosité de surface, le microscope à balayage laser n’en perd pas moins en convivialité.
Glossaire de la Microscopie